Transmissiya elektron mikroskopining aniqligiga qanday omillar ta'sir qiladi?
A. Elektron nurlanish nuqtasining diametri: skanerlash elektron mikroskopining hal qilish kuchining chegarasi. Umuman olganda, issiq katodli elektron tabancasining minimal nurlanish nuqtasi diametri 6 nm gacha kamayishi mumkin va dala emissiya elektron tabancasi nur nuqtasi diametrini 3 nm dan kichikroq qilishi mumkin.
B. Namunadagi tushayotgan elektron nurning kengayish effekti: diffuziya darajasi tushayotgan nur elektronlarining energiyasiga va namunaning atom raqamiga bog'liq. Tushgan nurning energiyasi qanchalik yuqori bo'lsa, namunaning atom raqami shunchalik kichik bo'lsa, elektron nurning hajmi shunchalik katta bo'ladi va elektron nurning tarqalishi bilan signal hosil bo'ladigan maydon ortadi va shu bilan o'lchamlari kamayadi.
C. Tasvirlash usuli va modulyatsiya signali ishlatiladi: ikkilamchi elektron modulyatsiya signali sifatida foydalanilganda, uning past energiyasi (50 eV dan kam) va qisqa o'rtacha erkin yo'l (taxminan 10-100 nm) tufayli faqat sirt qatlami. ning 50-100 nm. Chuqurlik diapazonidagi ikkilamchi elektronlar faqat namuna yuzasidan chiqib ketishi mumkin va tarqalish soni juda cheklangan va asosan lateral kengaymaydi. Shuning uchun ikkilamchi elektron tasvirning o'lchamlari taxminan nur nuqtasi diametriga teng. Orqaga tarqalgan elektronlar modulyatsiya signali sifatida foydalanilganda, orqaga tarqalgan elektronlarning energiyasi nisbatan yuqori va penetratsion qobiliyati kuchli bo'ladi, shuning uchun ular namunadagi chuqurroq joydan (samarali chuqurlikning taxminan 30 foizi) qochishi mumkin. Ushbu chuqurlik oralig'ida tushayotgan elektronlar ancha keng lateral kengayishga ega, shuning uchun orqaga tarqalgan elektron tasvirning ruxsati ikkilamchi elektron tasviridan pastroq, odatda 500-2000nm atrofida. Agar modulyatsiya signallari sifatida elektronlarning yutilishi, rentgen nurlari, katodofloressensiya, nurning o'tkazuvchanligi yoki potentsial kabi boshqa ish rejimlari ishlatilsa, signallar butun elektron nurlarining tarqalish maydonidan kelganligi sababli, olingan skanerlash tasvirlarining ruxsati nisbatan past bo'ladi. , odatda l 000 nm yoki l0000 nm dan yuqori.
