Konfokal mikroskoplarning yarimo'tkazgichlar sanoatida qo'llanilishi
Katta miqyosda{0}}yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonida integral mikrosxemalar chiplarini gofretga joylashtirish, so'ngra ularni turli birliklarga bo'lish va nihoyat ularni qadoqlash va lehimlash kerak. Shu sababli, gofretni kesish truba hajmini aniq nazorat qilish va o'lchash ishlab chiqarish jarayonida hal qiluvchi ahamiyatga ega.
VT6000 seriyali konfokal mikroskop Zhongtu Instrument tomonidan ishga tushirilgan mikroskopik tekshiruv uskunasi bo'lib, yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish va qadoqlash jarayonlarida keng qo'llaniladi. U-kontaktsiz skanerlashni amalga oshirishi va murakkab shakllar va tik lazerli kesish yivlari bilan sirt xususiyatlarining uch o'lchovli morfologiyasini qayta qurishi mumkin.
VT6000 seriyali konfokal mikroskop mukammal optik ruxsatga ega va gofret yuzasining xususiyatlarini aniq tasvirlash tizimi orqali batafsil kuzatishi mumkin, masalan, gofret yuzasida chekka sinishi va chizish kabi nuqsonlar mavjudligini kuzatish. Elektr minorasi turli ob'ektiv kattalashtirishlar o'rtasida avtomatik ravishda almashishi mumkin va dasturiy ta'minot ikki o'lchovli o'lchamni tez o'lchash uchun funksiya qirralarini avtomatik ravishda tortib oladi va shu bilan gofret yuzasini yanada samaraliroq aniqlaydi va sifatini nazorat qiladi.
Gofretlarni lazer bilan kesish jarayonida gofretdagi to'g'ri kontur bo'ylab yivlarni kesishni ta'minlash uchun aniq joylashishni aniqlash kerak. Gofret segmentatsiyasining sifati odatda chiqib ketish yivlarining chuqurligi va kengligi bilan o'lchanadi. Konfokal texnologiyaga asoslangan va yuqori tezlikda skanerlash modullari bilan jihozlangan VT6000 seriyali konfokal mikroskop koʻp hududli va avtomatik oʻlchash funksiyalariga ega professional tahlil dasturiga ega. U sinovdan o'tgan gofret lazer trubasining uch o'lchovli konturini tezda qayta qurishi va ko'ndalang kesimning kanal chuqurligi va kengligi ma'lumotlarini olish uchun ko'p profilli tahlillarni amalga oshirishi mumkin.
