Infraqizil mikroskoplarning elektron sanoat mikroqurilmalarida qo'llanilishi
Asosiy ma'lumotlarga kirish
Nanotexnologiyaning rivojlanishi bilan uning yuqoridan pastga miniatyura qilish usuli yarimo'tkazgich texnologiyasi sohasida tobora ko'proq qo'llanila boshlandi. IC texnologiyasi ilgari "mikroelektronika" texnologiyasi deb atalgan, chunki tranzistorlar o'lchami mikrometr shkalasida (10⁻⁶ metr) bo'lgan.
Shunga qaramay, yarimo'tkazgich texnologiyasi tez sur'atlar bilan rivojlanmoqda, har ikki yilda yangi avlod paydo bo'ladi va xususiyatlar o'lchamlari ikki baravar qisqaradi. Bu mashhur Mur qonuni. Taxminan 15 yil oldin yarimo'tkazgich sanoati o'lchamlari bir mikrometrdan kichikroq bo'lgan submikron davriga kirdi, so'ngra xususiyat o'lchamlari bir mikrometrdan ancha past bo'lgan chuqur submikron davri keldi. 2001 yilga kelib tranzistor o'lchamlari hatto 0,1 mikrometrdan, ya'ni 100 nanometrdan ham pastga tushdi. Shuning uchun biz nanoelektronika davridamiz va kelajakdagi integral mikrosxemalar (IC)larning aksariyati nanotexnologiyalar yordamida ishlab chiqariladi.
Texnik talablar
Hozirgi vaqtda elektron komponentlarning asosiy ishlamay qolish rejimi termal nosozlikdir. Statistik ma'lumotlar shuni ko'rsatadiki, elektron qurilmalarning ishdan chiqishining 55 foizi haroratning belgilangan chegaralardan oshib ketishi bilan bog'liq. Harorat ko'tarilgach, elektron qurilmalarning ishdan chiqish darajasi eksponent ravishda oshadi. Umuman olganda, elektron komponentlarning ishlash ishonchliligi haroratga juda sezgir. Qurilmaning harorati 70-80 daraja oralig'ida bo'lsa, har 1 daraja ko'tarilish ishonchlilikni 5% ga kamaytiradi. Shuning uchun komponentlarning haroratini tez va ishonchli o'lchash talab etiladi. Yarimo'tkazgichli qurilmalar hajmi qisqarishda davom etar ekan, tekshirish uskunasining harorat o'lchamlari va fazoviy o'lchamlariga yuqori talablar qo'yiladi.
