Skanerli elektron mikroskopning ishlash xususiyatlariga kirish
Skanerli elektron mikroskoplarning har xil turlari mavjud va skanerlovchi elektron mikroskoplarning har xil turlari har xil ko'rsatkichlarga ega. Elektron qurol turiga ko'ra, uni uch turga bo'lish mumkin: dala emissiya elektron tabancasi, volfram simli qurol va lantan geksaboridi [5]. Ular orasida yorug'lik manbasining ishlashiga ko'ra, maydon emissiya skanerlash elektron mikroskopiyasi sovuq maydon emissiya skanerlash elektron mikroskopiya va termal maydon emissiya skanerlash elektron mikroskopiya bo'linishi mumkin. Sovuq maydon emissiyasini skanerlash elektron mikroskopi yuqori vakuum sharoitlarini talab qiladi, nur oqimi beqaror, emitent qisqa xizmat muddatiga ega va igna uchi muntazam ravishda tozalanishi kerak, bu bitta tasvirni kuzatish bilan cheklangan va dastur oralig'i cheklangan; termal maydon emissiyasini skanerlash elektron mikroskopi nafaqat uzluksiz bo'lsa-da, u uzoq vaqt ishlashi mumkin, shuningdek, keng qamrovli tahlilga erishish uchun turli aksessuarlar bilan birlashtirilishi mumkin. Geologiya sohasida biz nafaqat namunaning dastlabki morfologiyasini kuzatishimiz, balki namunaning boshqa xususiyatlarini analizator bilan birgalikda tahlil qilishimiz kerak, shuning uchun termal maydon emissiyasini skanerlash elektron mikroskopi kengroq qo'llaniladi.
Skanerli elektron mikroskop (SEM) yuqori aniqlikdagi mikro-domen morfologiyasini tahlil qilish uchun katta aniqlikdagi asbobdir. U katta maydon chuqurligi, yuqori aniqlik, intuitiv tasvirlash, kuchli stereoskopik effekt, keng kattalashtirish diapazoni xususiyatlariga ega va sinovdan o'tadigan namunani uch o'lchamli kosmosda aylantirish va egish mumkin. Bundan tashqari, u turli xil o'lchanadigan namunalarning afzalliklariga ega, asl namunaning deyarli hech qanday shikastlanishi va ifloslanishi, morfologiya, tuzilish, kompozitsiya va kristallografik ma'lumotlarni bir vaqtning o'zida olish. Hozirgi vaqtda skanerlash elektron mikroskopiyasi hayotshunoslik, fizika, kimyo, adliya, yershunoslik, materialshunoslik va sanoat ishlab chiqarishi sohalarida mikroskopik tadqiqotlarda keng qo'llanilmoqda. , Sedimentologiya, geokimyo, gemologiya, mikropaleontologiya, astrogeologiya, neft va gaz geologiyasi, muhandislik geologiyasi va struktura geologiyasi va boshqalar.
Skanerli elektron mikroskop mikroskoplar oilasida ko'tarilayotgan yulduz bo'lsa-da, uning ko'plab afzalliklari tufayli rivojlanish tezligi juda tezdir.
1. Asbobning o'lchamlari nisbatan yuqori va namunaning yuzasida taxminan 6 nm bo'lgan tafsilotlar ikkinchi darajali elektron tasvir orqali kuzatilishi mumkin, bu esa LaB6 elektron tabancasi yordamida 3 nm ga yanada yaxshilanishi mumkin.
2 Asbobning kattalashtirishi keng diapazonga ega va doimiy ravishda sozlanishi mumkin. Shuning uchun, ehtiyojlarga ko'ra kuzatish uchun turli xil ko'rish maydonlarini tanlash mumkin va shu bilan birga, umumiy uzatish elektron mikroskoplari bilan erishish qiyin bo'lgan yuqori yorqinlikka ega aniq tasvirlarni ham yuqori kattalashtirishda olish mumkin.
3 Namunani kuzatish katta maydon chuqurligiga, katta ko'rish maydoniga ega va tasvir uch o'lchovlilikka to'la. U to'g'ridan-to'g'ri katta dalgalanmalar bilan qo'pol sirtni va namunaning notekis metall singan tasvirini kuzatishi mumkin, bu esa odamlarni mikroskopik dunyoda bo'lgandek his qiladi.
4. Namuna tayyorlash oddiy. Blok yoki kukun namunasi biroz ishlov berilgan yoki qayta ishlanmagan ekan, u kuzatish uchun to'g'ridan-to'g'ri skanerlash elektron mikroskopiga joylashtirilishi mumkin, shuning uchun u materialning tabiiy holatiga yaqinroq bo'ladi.
5 Yorqinlik va kontrastni avtomatik saqlash, namunaning egilish burchagini to'g'rilash, tasvirni aylantirish kabi elektron usullar orqali tasvir sifatini samarali boshqarishi va yaxshilashi mumkin, yoki Y modulyatsiyasi orqali tasvir kontrastining bardoshliligini yaxshilash va turli qismlarning yorqinligi va qorong'iligi. tasvirning o'rtacha. Ikki marta kattalashtirish moslamasi yoki tasvirni tanlash moslamasi yordamida floresan ekranda bir vaqtning o'zida turli xil kattalashtirishga ega tasvirlarni kuzatish mumkin.
6 keng qamrovli tahlil uchun. To'lqin uzunligi dispersiv rentgen spektrometrini (WDX) yoki energiya dispersiv rentgen spektrometrini (EDX) o'rnating, shunda u elektron zond vazifasini bajaradi va aks ettirilgan elektronlarni, rentgen nurlarini, katodofloressensiyani, uzatilgan elektronlarni, Auger elektronini aniqlay oladi. va hokazo. Skanerli elektron mikroskopiyani qo'llashni turli mikroskopik va mikro-sohali tahlil usullariga kengaytirish skanerlash elektron mikroskopining ko'p qirraliligini ko'rsatadi. Bundan tashqari, topografiya tasvirini kuzatishda namunaning ixtiyoriy mikro-mintaqasini ham tahlil qilishi mumkin; yarimo'tkazgich namunasi ushlagichining aksessuarini o'rnating va elektromotor kuch tasvir kuchaytirgichi orqali tranzistor yoki integral sxemadagi PN birikmasini va mikroskopik nuqsonlarni bevosita kuzating. Ko'pgina elektron mikroskop elektron problari elektron kompyuter avtomatik va yarim avtomatik boshqaruvni amalga oshirganligi sababli, miqdoriy tahlil tezligi sezilarli darajada yaxshilandi.
