Skanerli elektron mikroskopiyaning afzalliklari
1. Kattalashtirish
Skanerlovchi elektron mikroskopning lyuminestsent ekranining o'lchami belgilanganligi sababli, kattalashtirishning o'zgarishi namuna yuzasida elektron nurning skanerlash amplitudasini o'zgartirish orqali amalga oshiriladi.
Agar skanerlash bobinining oqimi kamaytirilsa, namunadagi elektron nurning skanerlash diapazoni kamayadi va kattalashtirish kuchayadi. Sozlash juda qulay va uni doimiy ravishda 20 martadan taxminan 200,000 martagacha sozlash mumkin.
2. Rezolyutsiya
Rezolyutsiya SEM ning asosiy ishlash ko'rsatkichidir.
Ruxsat tushgan elektron nurning diametri va modulyatsiya signalining turi bilan belgilanadi:
Elektron nurlarining diametri qanchalik kichik bo'lsa, o'lchamlari shunchalik yuqori bo'ladi.
Tasvirlash uchun ishlatiladigan turli xil jismoniy signallar turli o'lchamlarga ega.
Masalan, SE va BE elektronlari namuna yuzasida turli emissiya diapazonlariga ega va ularning ruxsati har xil. Odatda, SE ning ruxsati taxminan 5-10 nm, BEniki esa 50-200 nm atrofida.
3. Maydon chuqurligi
Bu ob'ektiv bir vaqtning o'zida notekislik bilan namunaning turli qismlariga fokuslashi va tasvirlashi mumkin bo'lgan bir qator imkoniyatlarga ishora qiladi.
Skanerlovchi elektron mikroskopning oxirgi linzalari kichik diafragma burchagi va uzun fokus uzunligini qabul qiladi, shuning uchun umumiy optik mikroskopnikidan 100-500 marta va 10 marta kattaroq maydon chuqurligini olish mumkin. transmissiya elektron mikroskopi.
Katta maydon chuqurligi, kuchli uch o'lchovli tuyg'u va real shakl SEMning ajoyib xususiyatlaridir.
SEM uchun namunalar ikki toifaga bo'linadi:
1 yaxshi o'tkazuvchanlikka ega bo'lgan namuna bo'lib, u odatda asl shaklini saqlab qolishi mumkin va elektron mikroskopda ozgina tozalanmasdan yoki kuzatilishi mumkin;
2. Supero'tkazuvchi bo'lmagan namunalar yoki suv yo'qotadigan, gaz chiqaradigan, vakuumda qisqaradigan va deformatsiyalanadigan namunalarni kuzatishdan oldin ularni to'g'ri davolash kerak.
