O'tkazuvchi elektron mikroskopiyadan foydalanish va xususiyatlari.O'tkazuvchi elektron mikroskopiyadan foydalanish va xususiyatlari
Transmissiya elektron mikroskopi (TEM) - bu namunaning ichki tuzilishini kuzatish uchun ishlatiladigan yuqori aniqlikdagi mikroskop. U namunaga kirib, proyeksiyalangan tasvirni hosil qilish uchun elektron nurdan foydalanadi, so'ngra namunaning mikro tuzilishini aniqlash uchun talqin qilinadi va tahlil qilinadi.
1. Elektron manba
TEM yorug'lik nuridan ko'ra elektron nurdan foydalanadi. Jifeng Electronics MA Laboratoriyasi tomonidan jihozlangan Talos seriyali transmissiya elektron mikroskopi ultra yuqori yorqinlikdagi elektron tabancadan foydalanadi va HF5000 sferik aberration elektron mikroskopi sovuq maydon elektron tabancasidan foydalanadi.
2.Vakuum tizimi
Namuna bo'ylab sayohat qilishdan oldin elektron nurning gaz bilan o'zaro ta'sirini oldini olish uchun butun mikroskop yuqori vakuum sharoitida saqlanishi kerak.
3. Transmissiya namunasi
Namuna shaffof bo'lishi kerak, ya'ni elektron nur unga kirib, u bilan o'zaro ta'sir qilishi va proyeksiyalangan tasvirni hosil qilishi mumkin. Odatda, namunaning qalinligi nanometrdan sub-mikron oralig'ida bo'ladi. Har chorakda yuqori sifatli ultra yupqa TEM namunalarini tayyorlash uchun o'nlab Helios 5 seriyali FIBlar bilan jihozlangan.
4. Elektron uzatish tizimi
Elektron nurlari uzatish tizimi orqali yo'naltirilgan. Ushbu linzalar optik mikroskoplarda ishlatiladiganlarga o'xshaydi, ammo elektron to'lqin uzunliklari yorug'lik to'lqinlaridan ancha qisqa bo'lgani uchun linzalarning dizayni va ishlab chiqarilishi ko'proq talabga ega.
5. Tasvir tekisligi
Namunadan o'tgandan so'ng, elektron nur tasvir tekisligiga kiradi. Ushbu tekislikda elektron nurdan olingan ma'lumotlar tasvirga aylanadi va detektor tomonidan ushlanadi.
6. Detektor
Eng keng tarqalgan detektorlar fosforli ekranlar, CCD (zaryadlangan qurilma) yoki CMOS (qo'shimcha metall oksidi yarim o'tkazgich) kameralari. Elektron nurlari tasvir tekisligida fosforli ekran bilan o'zaro ta'sir qilganda, ko'rinadigan yorug'lik hosil bo'ladi, natijada namunaning proektsiyalangan tasviri paydo bo'ladi, bu ko'pincha namunani topish uchun ishlatiladi. Fosforli ekranni qorong'i xonada ishlatish kerak bo'lganligi sababli, bu foydalanuvchi uchun qulay bo'lmaganligi sababli, bugungi kunda ishlab chiqaruvchilar fosforli ekranning yon tomoniga kamera o'rnatadilar, shunda TEM operatori namunalarni topish uchun monitorni ochiq muhitda kuzatishi mumkin. , lenta o'qi va boshqa operatsiyalarni egib, bu ko'zga tashlanmaydigan takomillashtirish inson-mashinani ajratishni amalga oshirishning asosidir.
7. Tasvirni shakllantirish
Elektron nurlar namunadan o'tayotganda, u namunadagi atom va kristalli tuzilmalar bilan o'zaro ta'sir qiladi, tarqaladi va yutadi. Ushbu o'zaro ta'sirlarga asoslanib, elektron nurning intensivligi tasvir tekisligida tasvirlarni hosil qiladi. Ushbu tasvirlar ikki o'lchovli proyeksiyalangan tasvirlardir, lekin namunaning ichki tuzilishi ko'pincha uch o'lchovli bo'ladi, shuning uchun namunaning ichki tafsilotlari haqidagi ma'lumotlarni hal qilishda bunga alohida e'tibor berilishi kerak.
8. Tahlil va talqin qilish
Tasvirlarni kuzatish va tahlil qilish orqali tadqiqotchilar kristall strukturasini, panjara parametrlarini, kristall nuqsonlarini, atom tuzilishini va namunaning boshqa mikrostrukturaviy ma'lumotlarini tushunishlari mumkin. Jifeng professional materiallarni tahlil qilish guruhiga ega bo'lib, u mijozlarga to'liq jarayon tahlili echimlari va professional materiallar tahlili hisobotlarini taqdim etishi mumkin.






