Ultrasonik skanerlash mikroskopining qalinligini o'lchash usuli
Ultrasonik skanerlash mikroskoplari qanday ishlaydi
Ultrasonik skanerlash mikroskop tizimining blok diagrammasi ko'rsatilgan. Ultrasonik transmitter qabul qiluvchisi ma'lum chastotali (5 MGts dan 2 gigagertsgacha) ultratovush impulslarini hosil qiladi va ulash muhiti (masalan, deionizatsiyalangan suv, spirt va boshqalar) orqali namunaga etib boradi. Ultrasonik energiyaning uzatilishi muhitning uzluksiz bo'lishini talab qilganligi sababli, teshiklar, iflosliklar, delaminatsiyalar, yoriqlar va boshqalar kabi uzluksiz interfeyslar ultratovush signallarining tarqalishiga xalaqit beradi yoki ultratovush signallarining aks etishiga olib keladi. Ultrasonik signal namunadan o'tganda, turli materiallarning akustik empedansidagi farq tufayli, nuqsonlar yoki yomon bog'lanish bilan interfeysda aks ettirilgan to'lqinlar paydo bo'ladi. Ultrasonik transduser tomonidan qabul qilingan aks ettirilgan aks-sado signali ultratovushli uzatuvchi qabul qiluvchi orqali A/D ma'lumotlar yig'ish kartasiga uzatiladi va aks-sado signali qayta ishlanadi va to'lqin shakli ko'rinishida ekranda ko'rsatiladi. To'lqin shakliga mos keladigan qurilmaning ichki tasviri ham operatsion interfeysda ko'rsatilishi mumkin. Uch o'qli harakat tizimi sinovdan o'tkazilayotgan qurilmani yuqori tezlikda skanerlash uchun ultratovush transduserini olib yuradi va nihoyat tegishli interfeysning yuqori aniqlikdagi ultratovush tasvirini oladi.
Ultrasonik qalinlikni o'lchash printsipi
Ultrasonik to'lqinlarning chastotasi yuqori, yo'nalishi yaxshi va bir hil muhitda tovush tezligi bir xil. Ultrasonik transduser tomonidan ishlab chiqarilgan ultratovush impulsi birlashtiruvchi vosita orqali o'lchangan ob'ektga etib kelganida, ultratovush signalining bir qismi o'lchangan ob'ektga kiradi va ultratovush signalining boshqa qismi ob'ektning pastki yuzasida aks etadi. Ultrasonik transduser o'lchangan qatlamning pastki yuzasi tomonidan aks ettirilgan aks-sadoni oladi, ultratovush to'lqinining aylanish vaqtini aniq hisoblab chiqadi va 1-formulaga muvofiq qalinligi qiymatini hisoblaydi. 1-jadvaldagi an'anaviy materiallarning ultratovush uzatish tezligidan, ba'zi tez-tez ishlatiladigan tezlik ma'lumotlarini topish mumkin.
Ultrasonik qalinlikni o'lchash usuli
Ultrasonik to'lqin shaklining sxematik diagrammasi ultratovush to'lqini va uning qurilma orqali o'tishi o'rtasidagi mos keladigan munosabatni ko'rsatadi. Undan qalinlikni o'lchash usulining kaliti qiziqtiradigan qalinlik qatlamining to'lqin shaklini topish, qurilmaning old sirt eshigini o'rnatish va qiziqish qalinligi qatlamida ma'lumotlar eshigini o'rnatishdir. Ultrasonik skanerlash mikroskopining Smartscan dasturida asosiy narsa qurilmaning qalinligi va qiziqish qatlamini qanday aniqlashdir.
