Ikki nurli mikroskopda ishlatiladigan asboblar asosan sirt pürüzlülüğünü o'lchash uchun ishlatiladi. Bundan tashqari, shaffof va shaffof qoplamalarning, ayniqsa alyuminiydagi anodlangan plyonkalarning qalinligini o'lchash uchun ham foydalanish mumkin.
Asbob qoplama yuzasiga 45 graduslik burchak ostida nurni yoritish orqali ishlaydi va nurning bir qismi qoplama yuzasidan orqaga qaytariladi. Yana bir qismi qopqoqqa kirib, qopqoq-substrat interfeysidan orqaga aks etadi. Mikroskop okulyaridan ikkita alohida tasvirni ko'rish mumkin, masofa qoplama qalinligiga proportsionaldir va masofani o'lchovni boshqarish tugmachasini sozlash orqali o'lchash mumkin.
Ushbu usuldan faqat mikroskopda aniq tasvirni olish uchun qoplama-substrat interfeysida etarlicha yorug'lik qaytarilganda foydalanish mumkin.
Anodlangan plyonkalar kabi shaffof yoki shaffof qoplamalar uchun usul buzilmaydi. Shaffof bo'lmagan qoplama qatlamining qalinligini o'lchash uchun qopqoq qatlamining kichik qismini olib tashlash kerak, shuning uchun qoplama qatlamining yuzasi va substrat o'rtasida yorug'lik nurini sindira oladigan qadam hosil bo'ladi, shuning uchun mutlaq qiymat qoplama qatlamining qalinligini o'lchash mumkin. Bunday holda, usul halokatli sinov usuli hisoblanadi.
Ikki nurli mikroskopning o'lchash xatosi odatda 10 foizdan kam.
