Turli mikroskopni kuzatish usullaridan foydalangan holda tez yarim semizgudryador inspektsiyasi
Etkazilgan grafiklarni va integral mikrosxemalarni (ICS) yarimo'tkazib berish jarayonini aniqlash va kamaytirish uchun muhim ahamiyatga ega. Ertalab ishlab chiqarish bosqichida sifat nazorati samaradorligini oshirish va integraling elektron chiplarining ishonchli ishlashini ta'minlash maqsadida mikroskop echimlari turli kamchiliklar to'g'risidagi to'liq va aniq ma'lumotlarni taqdim etish uchun turli xil kuzatuv usullari bilan birlashtirilishi kerak. Bu erda joriy etilgan kuzatuv usullari yorqin dala, qorong'i maydon, polarizatsiya, ultrabinafsha, ultrabinafsha, qiyalik va infraqizil. Ular mikroskoplarga mikroskoplarga va grafikani rivojlantirish va integral mikrosxemalar o'rnatiladi.
Yarimo'tkazgichli ishlab chiqarish sohasi mikroskoplardan qanday foyda oladi
Mikroskop echimlari muhim va ishonchli aniqlash, sifatni boshqarish (QC), yoriqlarni tahlil qilish (FA), tadqiqot va ishlab chiqish (R & D) yarimo'tkazgich ishlab chiqarish sohasida muhim rol o'ynaydi.
Yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonida turli xil kamchiliklar turli bosqichlarda turli bosqichlarda yuzaga kelishi mumkin, bu esa jihozlarning normal ishlashiga ta'sir qilishi mumkin. Ushbu kamchiliklar ilgari aniqlanmoqda, yaxshisi yaxshiroq. Ushbu kamchiliklar tasodifiy taqsimlangan chang zarralari (tasodifiy nuqsonlar) yoki ishlov berish sharoitlari va qopqoqlar va potorezistlar tomonidan kelib chiqishi va vojikning muayyan joylarida paydo bo'lishi mumkin. Kichik o'lchami tufayli mikroskoplar bunday kamchiliklarni aniqlashning afzal ko'rgan vositasidir.
Ayniqsa, elektron mikroskoplar (EM), optik mikroskoplar (OM) kabi sekin va qimmatbaho mikroskoplar, shuningdek ko'plab afzalliklarga ega. Uning ko'p qirrali va qulayligi tufayli optik mikroskoplar yalang'och oqadigan kamchiliklar va yig'ilgan ko'zlarni, shuningdek kontentsiyalashgan mikrosxemalar (ICS) yig'ilishlar va qadoqlash jarayonlarida odatda qo'llaniladi.
Yorqin dala (bf), qorong'u maydoncha (DF), noaniq va infraqizil (IR) kabi turli xil optik mikroskop (DFR) va Infraqame (IR) Chipni tekshirish jarayonlarida tezkor va aniq nuqsonlarni aniqlash uchun juda muhimdir.
