Elektronlarning materiya bilan o'zaro ta'siri skanerlash elektron mikroskop ishlab chiqarish uchun asosdir. Ikkilamchi elektronlar, Auger elektronlari, xarakterli rentgen nurlari va uzluksiz rentgen nurlari, orqaga tarqalgan elektronlar, uzatilgan elektronlar va ko'rinadigan, ultrabinafsha va infraqizil diapazonlardagi elektromagnit nurlanish - bularning barchasi yuqori energiyali elektronlar nurlari sirtini bombardimon qilganda hosil bo'ladi. masala. Panjara tebranishlari (fononlar), elektron tebranishlari (plazmalar) va elektron-teshik juftliklari bir vaqtning o'zida paydo bo'lishi mumkin. Nazariy jihatdan, elektronlar va moddalar o'rtasidagi o'zaro ta'sirdan foydalanib, namunaning bir nechta fizik va kimyoviy xususiyatlarini, jumladan shakli, tarkibi, kristall tuzilishi, elektron tuzilishi va ichki elektr yoki magnit maydonlarini aniqlash mumkin.
Namuna yuzasida o'ziga xos energiya, intensivlik va nuqta diametriga ega bo'lgan elektron nurni yaratish uchun elektron to'p 30 keV gacha energiyaga ega bo'lgan elektron nurni chiqaradi, keyin esa konverging linzalari va ob'ektiv linzalari tomonidan qisqartiriladi va fokuslanadi. . To'g'ridan-to'g'ri keladigan elektron nurlar ma'lum vaqt va makonda skanerlash bobinining magnit maydoni ta'sirida namuna yuzasini nuqtama-nuqta skanerlaydi. Ikkilamchi elektronlar tushgan elektronning namuna yuzasiga tegishi natijasida namuna elektronidan qo'zg'aladi. Ikkilamchi elektron kollektorning funktsiyasi barcha yo'nalishlarda chiqariladigan ikkilamchi elektronlarni ushlab turish imkonini beradi.
va keyin optik signalning boshqa konvertatsiyasini o'tkazish uchun yorug'lik trubkasi bo'ylab fotoko'paytiruvchi trubkaga o'tishdan oldin optik signalga aylantirish uchun tezlatuvchi elektrod tomonidan sintilatorga yuboriladi. elektr signallarini uzatish uchun. Video kuchaytirgich bu elektr signalni kuchaytiradi, so'ngra uning yorqinligini tartibga solish va floresan ekranda namunaning sirt tebranishini aks ettiruvchi ikkilamchi elektron tasvirini ko'rsatish uchun rasm trubkasi tarmog'iga beriladi.
Magnit linzalarni tasvirlashdan foydalanadigan va bir vaqtning o'zida tugatiladigan TEM tasvirlashda ishlatiladigan tasvirlash jarayoni butunlay boshqacha.
Elektron optik tizim, skanerlash tizimi, signalni aniqlash tizimi, displey tizimi, quvvat manbai va vakuum tizimi skanerlash elektron mikroskopining ko'p qismini tashkil qiladi. Grafikda uning konstruktsiyasining sxematik ko'rinishi ko'rsatilgan. Yopishqoq sinovda ko'pincha skanerlash elektron mikroskopidan foydalaniladi.
