Elektron mikroskop va metallografik mikroskop o'rtasidagi farqlar
Skanerli elektron mikroskopning ishlash printsipi
Skanerli elektron mikroskop (SEM) murakkab tizimdir. Elektron optika texnologiyasi, vakuum texnologiyasi, nozik mexanik tuzilish va zamonaviy kompyuterni boshqarish texnologiyasi jamlangan. Skanerli elektron mikroskop (SEM) tezlashtirilgan yuqori kuchlanish ta'sirida elektron qurol tomonidan chiqarilgan elektronlarni ko'p bosqichli elektromagnit linzalar orqali nozik elektron nurlarga to'playdi. Namuna yuzasini skanerlash turli xil ma'lumotlarni rag'batlantirishi mumkin, ularni olish, kuchaytirish, ko'rsatish va namuna yuzasini tahlil qilish uchun tasvirlash mumkin. 1-rasmda ko'rsatilganidek, hodisa elektronlari namuna bilan o'zaro ta'sir qiladi va ma'lumotlar turlarini hosil qiladi. Ushbu ma'lumotlarning ikki o'lchovli intensivlik taqsimoti namuna yuzasining xususiyatlariga qarab o'zgaradi (bu xarakteristikalar sirt morfologiyasi, tarkibi, kristall yo'nalishi, elektromagnit xarakteristikalar va boshqalarni o'z ichiga oladi. .). Turli detektorlar tomonidan to'plangan ma'lumotlar ketma-ketlikda va mutanosib ravishda video signallarga aylantiriladi, so'ngra uning yorqinligini modulyatsiya qilish uchun sinxron skanerlash kineskopiga uzatiladi, shuning uchun namunaning sirt holatini aks ettiruvchi skanerlash rasmini olish mumkin. Agar detektor tomonidan qabul qilingan signal raqamlangan bo'lsa va raqamli signalga aylantirilsa, u kompyuter tomonidan qayta ishlanishi va saqlanishi mumkin. Skanerli elektron mikroskop (SEM) asosan katta balandlik farqi va pürüzlülüğü bo'lgan qalin namunalarni kuzatish uchun ishlatiladi, shuning uchun u dizayndagi maydon effektining chuqurligini ta'kidlaydi va odatda qo'lda ishlov berishsiz yoriqlar va tabiiy sirtlarni tahlil qilish uchun ishlatiladi.
Elektron mikroskop va metallografik mikroskop
Birinchidan, yorug'lik manbai boshqacha: metallografik mikroskop yorug'lik manbai sifatida ko'rinadigan yorug'likdan foydalanadi va skanerlash elektron mikroskopi tasvirlash uchun yorug'lik manbai sifatida elektron nurdan foydalanadi.
Ikkinchidan, printsip boshqacha: metallografik mikroskop tasvir uchun geometrik optik tasvirlash printsipidan foydalanadi, skanerlash elektron mikroskopi namuna yuzasini bombardimon qilish uchun yuqori energiyali elektron nurlardan foydalanadi, bu esa namuna yuzasida turli xil jismoniy signallarni qo'zg'atadi va keyin qabul qilish uchun turli xil signal detektorlaridan foydalanadi. jismoniy signallar va ularni tasvir ma'lumotlariga aylantirish.
Uchinchidan, oʻlchamlari boshqacha: yorugʻlikning interferensiyasi va diffraksiyasi tufayli metallografik mikroskopning ruxsati faqat 0.2-0.5um bilan cheklanishi mumkin. Skanerli elektron mikroskop yorug'lik manbai sifatida elektron nurdan foydalanganligi sababli uning o'lchamlari 1-3nm ga yetishi mumkin, shuning uchun metallografik mikroskopning mikro tuzilmasini kuzatish mikron miqyosdagi tahlilga, skanerlovchi elektron mikroskopning mikrotuzilmasini kuzatish esa nano masshtabli tahlilga tegishli. .
To'rtinchidan, maydon chuqurligi har xil: Odatda, metallografik mikroskopning maydon chuqurligi 2-3um orasida bo'ladi, shuning uchun namunaning sirt silliqligi juda yuqori, shuning uchun namuna tayyorlash jarayoni nisbatan murakkab. Skanerli elektron mikroskop esa katta chuqurlikka, katta ko'rish maydoniga va uch o'lchovli tasvirga ega bo'lib, turli namunalarning notekis yuzalarining nozik tuzilishini bevosita kuzatishi mumkin.
